中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #293764347 を販売中

ID: 293764347
High current ion implanter.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90は、イオンインプラントの用量とエネルギーレベルを決定するために設計された洗練されたイオンインプラントおよびモニターです。この装置は、埋め込み機から直接埋め込みの用量とエネルギーを高精度に測定できるように設計されています。独自のダブルマスク機能を使用して、2つの別々のマスクを組み合わせて、大小の測定領域を活用することができます。SEN NV GSDIII-90には、タッチスクリーンディスプレイを介して動作するマスフローコントローラが含まれています。この高度な制御により、ビーム線量とエネルギーを正確に調整できます。さらに、このユニットは、着床プロセス全体における線量ドリフト、エネルギー拡散、および総均一性を監視するために使用することができます。光学機はCCDカメラを内蔵し、イメージング性能を向上させています。このカメラは、正確なビームプロファイリングを可能にし、ユーザーが開始から終了までのイオン注入プロセス全体を観察することができます。注入プロセスによって作成された歪みを検出するためにも使用できます。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDII 90は、包括的な安全機能も備えています。これらの機能には、緊急遮断ツール、スタティックフリーゾーンモニタリング、ビーム割込みセンサー、および自動化された高エネルギーオーバーフィル保護が含まれます。これらの安全機能のそれぞれは、埋め込みプロセスが安全かつ円滑に動作するようにするのに役立ちます。最後に、NV GSD III 90には、アセットのパフォーマンスを監視するように設計された自己診断機能が含まれており、モデルのシャットダウンを引き起こす前に解決のための潜在的な問題を提示しています。この装置は、精度と信頼性で優れた品質の性能を提供するように設計されています。結論として、SEN NV-GSDIII-90は最先端の技術とユーザーフレンドリーな機能を組み合わせた高度なイオンインプランターとモニターです。これには、ユーザー保護のための幅広い安全機能と、最適なパフォーマンスを確保するための包括的な診断およびサービス機能が含まれています。このシステムは、インプラント用量とエネルギーを正確かつ正確に測定できるように設計されています。
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