中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9244723 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180は、ウェハレベルのドーピング用に設計されたイオンインプラントおよびモニターです。様々な基材に精密で再現可能なイオン注入パラメータを提供します。SEN NV-GSDIII-180には、コンピュータ制御のイオンソース、2つの独立したガンラインコントロール、統合モニター装置、および高真空システムが含まれています。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180は、最適な断面サイズと形状で高精度なイオンビームを生成することができるコンピュータ化イオンソースを使用しています。イオンソースは、ウェーハのさまざまな領域をスキャンすることができます。また、さまざまなビーム領域をオンザフライでパルスして最適な着床を行うこともできます。2つの独立した銃器ラインは、埋め込みプロセスの正確な制御を提供します。これらのラインは、スポットサイズやエネルギー、基板温度など、さまざまなパラメータに調整できます。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180の統合モニターユニットは、ウェーハを埋め込む際のビームプロファイルとビームエネルギーのリアルタイムフィードバックを提供します。このマシンはまた、ユーザーがプロセスを監視することができ、最適なパフォーマンスを確保します。高真空ツールは、イオン注入プロセス中に優れたチャンバー安定性を提供します。この資産は、1x10-6 Torr未満の真空を維持するように設計されています。また、埋め込み中のチャンバーの汚染や劣化を防ぎます。NV GSDIII 180は、ウェハレベルのドーピングに最適なソリューションです。そのコンピュータ制御イオン源、2つの独立したガンライン、統合されたモニターモデル、および高真空装置は、正確で反復可能なイオン注入パラメータを作成するための理想的なソリューションです。お客様は、SEN NV GSDIII 180のイオンインプラントとモニターの精度、精度、再現性に自信を持っていただけます。