中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9148295 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180は、ビーム伝送機能とX-Yビームスキャン機能を強化した超高エネルギーインプラントです。デバイスの性能を高め、コストを削減する半導体ウェーハへの高精度で繊細なインプラントに使用されます。NOVA SEN NV-GSDIII-180は最大180 keVの注入エネルギー容量を持ち、チャネリング、浅い接合部、自己振動、自己アライメントインプラントなど、幅広い注入手順をサポートしています。ファラデーケージ、真空装置、空気圧機器を内蔵しており、着床プロセスに最高レベルの安全性と精度を提供します。このシステムには、コンピュータ制御のイオン源コントロールユニットとビームモニターが内蔵されており、ビームエネルギー、粒子フラックス、フォーカス幅、アライメントを測定および調整できます。また、ターボポンプとラフティングバルブの2段階のフルレングス真空ユニットを内蔵しています。機械に注入ビームの変数を制御することで重要である磁気干渉を償うのに使用される調節可能な陽極があります。さらに、NOVA SUMITOMO EATON NOVA NV GSDII 180には、脱気ユニット、デジタルイオンモニター、X-Yミラー、自動アライメント装置、プロファイル監視、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えたデータ収集ツールが含まれています。アセットのデジタルコントロールにより、インプラント用量を正確に調整できます。これは、時計回りと反時計回りの両方の方向に回転インプラントを実行することができ、ウェーハ全体に均一な線量を確保します。X-Yビームスキャンと調整可能なフォーカス幅の機能により、高精度なインプラントを保護するだけでなく、デバイスのパフォーマンスを向上させることができます。NOVA SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180には、社内のビーム加速器とシールドがあり、オペレータを放射から保護します。そのデジタル通信モデルは、ユーザーとインプランター間の信頼性の高い効率的な通信を保証します。さらに、NOVA SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180は、ガス供給装置の奥にある有害物質や酸素からユーザーを保護する高度な安全機能を備えています。結論として、NV-GSDIII-180は高度で信頼性の高いインプランターとモニターです。最高の安全性と精度を提供することにより、半導体ウェーハの正確かつ費用対効果の高い埋め込みを可能にします。内蔵のビーム加速器、調整可能なアノード、X-Yビームスキャンおよびフォーカス幅の機能、および高度なデジタル制御により、コストや安全性を犠牲にすることなく、高品質のインプラントを求める人に最適です。