中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9148222 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180は、半導体加工のためのハイエンドイオンインプラントおよびモニターです。この装置は、光学とエレクトロニクスのユニークな組み合わせを備えており、正確な埋め込みと材料の熱破損の低減を可能にします。高度なソフトウェアとハードウェアコンポーネントを搭載し、動作中に超高精度を実現します。SEN NV-GSDIII-180は、定量的かつ正確なインプラントとモニタリングのために、高解像度ビーム位置モニタ（HRBPM）技術を使用しています。このモニターを使用することで、インプラントのエネルギーレベル、目標速度、および線量率を正確に制御することができ、高解像度で再現可能な精度を保証します。また、SED （Secondary Electron Detector）を搭載しており、イオン注入に対する異なる材料の応答に関する詳細なデータ収集が可能です。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDII 180は、グラフィカルインプラントツール（GIS）を含むグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して制御されます。このGISを使用すると、イオン種、速度、ビーム電流、およびその他の変数をプリセットしてインプラントを調整できます。その他の機能には、コンピュータ化されたライブラリ検索、診断モニタ、データ収集、モニタデータログ、ヒストグラム出力、およびさまざまなプリセットキネティックパラメータが含まれます。このアセットは、シリコン、ガリウムヒ素、シリコンカーバイト、ゲルマニウムなどの様々な材料に埋め込むことができます。また、シングルウェーハ、マルチウェーハ、バッチ、両面、多段インプラントなど、さまざまな構成に対応しています。NV GSDIII 180は堅牢なステンレス鋼構造で、冷却ファンを備えており、モデルの一貫した動作を保証します。トークンリング連動装置、ビームダンプ、オペレータの安全を確保するための統合RFシールドなど、多くの安全機能を備えています。このシステムには、放射線プロファイリングユーティリティやネットワークインターフェイターミナルなど、オンラインデータ分析のための多くのオプションもあります。さらに品質と一貫性を確保するために、SEN NV GSDIII 180にはフェイルセーフ観測ユニットが装備されており、浸透破片の蓄積を防ぎ、チャンバーを清潔に保ちます。さらに、高度な真空タイトモニタリングマシンにより、工具内の真空圧力を正確に監視できます。NV-GSDIII-180は、高精度で再現性の高いインプラントとモニタリングを提供できる最先端のイオンインプラントおよびモニターです。高解像度ビーム位置モニタ、二次電子検出器、コンピュータ化ライブラリ検索、グラフィカルインプラント資産など、多くの機能を備えています。さらに、堅牢な構造と安全機能により、モデルの信頼性の高い動作を保証します。