中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE #9181516 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LEは、イオン注入プロセスの特性を制御および監視するために設計されたイオン注入装置およびモニター装置です。高度なプロセス制御機能により、ウェーハの均一性、最高の歩留まり、製品の品質と信頼性を実現します。また、ウェーハ温度の均一性を維持し、熱損傷を最小限に抑え、回路基板への損傷を防止する総合的なソリューションを提供します。機械はインプランター、モニター、コントローラーで構成されています。インプランターは、ツールの主成分であり、イオン源、ビーム形成ユニット、ターゲットおよびインプランター基盤で構成されています。必要なイオンビームを提供し、ウェーハインプラントの所望の特性を達成するのに役立ちます。モニターユニットは、イオンビームの強度、電圧、電流値を測定し、着床プロセスを正確に制御する高感度センサーで構成されています。最後に、コントローラは、プロセスの自動操作に必要な制御信号を資産全体に提供します。このモデルは、ホウ素、ヒ素、リン、ケイ素、ゲルマニウム、アルミニウム、ガリウム注入など、さまざまな注入プロセスを実行することができます。さらに、シングルステップとマルチステップの両方の着床プロセスに使用でき、複数のイオン種を同一のウエハに同時に注入することができます。さらに、装置はトレンチおよび近距離インプラントに使用することができます。SEN NV-GSD-LEには、ウェーハの均一性を確保し、熱損傷を最小限に抑えるための温度制御システムが内蔵されています。高精度（± 3°C）と異なる温度制御設定が可能なため、Siベースと非Siベースの両方の材料を埋め込むのに最適です。さらに、粒子の加速と減速を制御し、必要な予備化学プロセスを提供することも可能です。住友EATON NOVA NV-GSD-LEは、安全な作業環境を確保するために、複数の安全対策も備えています。これには、異常が発生した場合の緊急シャットダウンスイッチと、インプラントのプロセスが低レベルのノイズで行われることを保証するガス密度の高い防音室が含まれます。結論として、NV-GSD-LEは、イオン注入とモニタリングのプロセスを自動化および制御するための包括的な機能を提供します。高精度、短いサイクルタイム、正確なモニタリングを提供することで、幅広い用途に最適なソリューションです。