中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #9055205 を販売中

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ID: 9055205
High energy ion implanter, 8" Currently warehoused Gas: BF3, PH3 2006 vintage.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HEは高速イオンインプラントとモニターです。生産性向上のために、高いスループットで高品質のインプラントを提供するように設計されています。装置は高い信頼性、安定した操作、高解像度のデジタルイメージングおよび高度の低負荷の注入の技術を特色にします。陽子、ホウ素、アルミニウム、アンチモンなど幅広いイオンを埋め込むことができます。また、高度にモジュール化されたコントロールパネルで設計されており、埋め込みパラメータの簡単な操作と制御が可能です。システムには、高エネルギー、短いイオンのパルスを生成することができる高性能のガンユニットが含まれています。また、インプラントの位置と個々のウェハの線量を正確かつ正確に操作することを可能にする自動ウェーハハンドリングマシンも含まれています。モニタリングツールには、高解像度のデジタルイメージングが含まれており、インプラントとパッケージングを正確に制御できます。また、目的のターゲットにイオンビームを集中させるために使用される高出力の磁気レンズも含まれています。この資産は、機器の損傷の可能性を最小限に抑え、放射線被ばくのリスクを低減する幅広い安全機能を備えています。バリアモデルは、イオン化された粒子をブロックして吸収し、放射線量を減らすことができます。また、システム内から空中汚染を除去するアクティブパージ装置も備えています。ユニットはまた、信頼性の高い動作を確保するために、電子機器や機械部品の複数の層で設計されています。SEN NV GSD-HEは、さまざまなアプリケーションに理想的な選択肢となる多くの機能を提供しています。それは6μA/cm2まで達することができる高い発電の注入率を特色にし、脈拍の持続期間は10-200nsからの範囲です。高品質のインプラントと高いスループットを提供することができ、生産サイクル時間は1秒以下です。また、低消費電力で設計されており、最大90%の効率で動作することができます。SUMITOMO EATON NOVA NV GSDは、高品質のインプラントとモニター性能を提供するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。高出力インプラント速度、パルス持続時間、低消費電力、安全機能など、さまざまなアプリケーションに最適な機能を提供します。
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