中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #293603723 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HEは、住友商事が製造するイオンインプラントおよびモニターです。これは、高スループットを達成するために2セットの分離されたビーム源を備え、最大2mAまでの複数のビーム電流を供給することができる、高価な、マルチビームイオン注入器です60keV。このモデルは、均一なドーピング分布と優れた制御を提供し、インプラント用量に対する正確な深さと位置制御を可能にします。6軸モーションコントロール装置と、小さな異常やビーム電流の変化を検知できるスキャンビーム電流モニターを搭載しています。SEN NV GSD-HEインプランターは、イオンビームプロファイルを均一にする「多面」ミラーシステムを備えたユニークな電子銃設計を特徴としています。イオン銃の自己安定化の特徴および精密なビームライン制御によって、これらの高度の単位変数は精密な線量制御および精密な位置制御のための非常に反復可能なプロセスを可能にします。注入プロセスは自動化され、洗練されたリアルタイムコンピュータによって制御されます。オペレーションとメンテナンスの両方のためのすべてのインプラント記録とプログラムパラメータを管理するソフトウェア機能。さらに、プロセス全体のモニタリングは、インプラント室内にある多数の検出器と、高度なコンピューター制御ツールに接続された外部検出器の組み合わせによって行われます。さらに、この資産には、非常に安定した均一なビームで一流の成果を保証する専用の粒子加速器が含まれています。ヘキサポールイオン光学とビームパラメータのデジタル制御により、モデルのイオン制御方法とエネルギー安定性は、対応するプロセス要件の変更でも保証されます。持続可能性を確保し、インプラントの最高品質を保証するために、SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HEイオンインプランターは、国際規格に準拠した世界的な産業諮問委員会によって広くテストされ、認定されています。NV GSD HEインプランタは、最適なビームアライメントとカスタマイズされたソフトウェアを備えた高度なコンピューター制御装置により、優れたスループット、高い生産性、高い精度を提供します。また、優れた再現性と運用の信頼性を提供し、長期的な使用を許可し、プロセスサイクルあたりのコストを削減します。