中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3 #9253859 を販売中

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3
ID: 9253859
ウェーハサイズ: 12"
High current implanter, 12" B+, P+, As+ 2-80 keV In+ -60 keV Tilt angle: 0°-7° Plasma shower Ion source: IHC (Molybdenum).
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3は、ホウ素とリンの両方のインプラントを製造および監視することができる高度なイオンインプラントおよびモニターです。それは非常に精度と精度でそうすることができ、植え込みプロセスに対する比類のない制御を提供します。SEN NV-GSD-HC3は、最適な着床性能を確保するために、さまざまな最先端技術を取り入れています。これには、精密かつ再現可能な埋め込み操作を可能にする自動マスコントロールシステムが含まれます。また、高度なガス制御システムを備えており、注入プロセス中のガス注入を最適に制御できます。これにより、すべてのプロセスパラメータが厳密に制御され、リアルタイムで監視されます。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3の埋め込み性能は、二次加工モジュールを組み込んだことでさらに向上しています。これにより、入植パラメータの複雑な調整と監視が可能になり、プロセスの精度と精度が向上します。NV-GSD-HC3はインプラントだけでなく、完全なインプラントのプロセスを監視するように設計されています。洗練されたモニタリングシステムにより、クロマチックおよびマスビームアライメント、ビーム電流、電圧などのプロセスパラメータを継続的に監視できます。これは、完全な埋め込みプロセスが常に正確かつ正確であることを保証するのに役立ちます。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3は、磁気ショッククランプと放射線防護シールドを内蔵することで、作業スタッフの安全性と埋め込み工程の品質を確保することができます。SEN NV-GSD-HC3は、イオン注入および監視プロセスにおいて最高レベルの精度と精度を必要とするアプリケーションに最適な選択肢です。これは、使いやすいインターフェイスと直感的な操作と組み合わせて、最先端の技術と機能の印象的な配列を誇っています。これにより、住友EATON NOVA NV-GSD-HC3は、優れた着床性能を保証するツールと機能をメーカーに提供します。
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