中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293748591 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80は、イオンを多種多様な基板に正確に埋め込むために設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、ホウ素、ヒ素、リンなどのすべてのタイプのイオンを埋め込むために使用され、集積回路の製造に使用されるMOSFETやジャンクション補完層などの構造を作成します。SEN NV-GSD-A-80は、ウェーハ基板ホルダーとガンアセンブリの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハ基板ホルダーは、埋め込み用の基板を保持し、埋め込まれたイオンの均一な分布を得るために基板を傾けることができます。ガンアセンブリには、基板に発射される前にイオンを所望のエネルギーレベルまで加速するために必要な共振器と電源が含まれています。また、イオンの焦点サイズと注入パルスの正確なパラメータを制御し、可能な限り最高のドーピング精度を達成します。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80は、ビーム監視/制御ソフトウェアを使用してインプラント工程を監視および制御します。このビーム監視/制御ソフトウェアは、ビーム電流、パルス長、加速電圧、ウェーハ基板ホルダーの傾斜角度などに関する情報を提供します。また、イオンビームパラメータの変更に関するフィードバックを提供し、最適なインプラント性能を実現します。また、洗練された通信機を備えており、インターネットをはじめとする幅広いネットワーク上での移植プロセスの通信と監視が可能です。NV-GSD-A-80は精密なイオン注入および高性能の結果のための高度用具です。最小限のメンテナンスで最大限の稼働時間を提供するように設計されており、最新のプロセス制御システムの厳しい要求を満たしています。さらに、堅牢な設計と高度な機能により、運用コストの削減により、ユーザーは最高の品質管理と最高のインプラント性能を達成することができます。