中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293637081 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80は、高性能イオンインプラントとモニターです。それは最適なプロセス制御を提供するように設計されており、最も高い注入の正確さ、再現性および均一性を保障する強力なソフトウェアを特色にします。これは、ロボットマニピュレータで最大4ウェハのロードとアンロードを可能にするために、横軸とロードロックチャンバーを持っています。さらに、高エネルギーと低エネルギーの両方の着床を達成するために2つの独立したチャンバーが装備されています。SEN NV-GSD-A-80には、X軸、 Y軸、 Z軸の3軸スキャンシステムがあり、精密なビーム分布と投与量制御を実現し、高精度の超微細パターンのインプラントを可能にします。可動式ビーム軸を備えており、異なる埋め込み工程でビーム位置を簡単に調整できます。スキャンシステムには、サンプルを取り付けて1000°Cまで加熱できる高温ヒーターも取り付けられています。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80には、特定の要件に応じて着床プロセスを確実に実行するための複数のモニタシステムが装備されています。これには、ファラデーの出口検出器、ファラデーのカップセンサー、水晶マイクロバランス、イオンバランスモニター、X線 bremsstrahlung放射が含まれます。また、NV-GSD-A-80にはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた高度なソフトウェアがあり、ユーザーは注入プロセスをリアルタイムで制御および監視することができます。このソフトウェアは、プロセスパラメータの設定、監視、制御、高度な材料分析、レシピファイルへのアクセス、リコール機能などの多数の機能で構成されています。結論として、SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80は、最先端のプロセス制御と分析機能を提供する高度なイオンインプラントおよびモニタです。ロードロックチャンバー、3軸スキャンシステム、および制御ソフトウェアと組み合わせた複数の監視システムにより、ユーザーはニーズに応じて正確にインプラント処理を調整および監視する柔軟性が得られます。