中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9268769 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80は、半導体、セラミックス、メガネなどの材料にイオンを埋め込むアプリケーション用に設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。非常に高い精度と性能を備えており、サブミクロンの特徴を常に監視し正確に制御する必要のあるアプリケーションに適しています。このシステムはイオン源を使用して荷電原子や分子を生成し、電場によって材料に埋め込まれて微小な特徴が形成される。これに続いて、サブミクロンの特徴を測定するために電子顕微鏡や他の機器が使用されるモニタリングのプロセスが続きます。このデータは、埋め込みパラメータを調整し、そのパフォーマンスを最適化するために使用されます。SEN NV GSD-80は、80mAの最大ビーム電流と2.5keVの固定ビームエネルギーを備えた高性能イオンインプランターを備えています。X-Yマニピュレータを搭載しており、2つの軸に沿ってビームを個別に調整することができます。また、ウェーハの位置決めや負荷に使用される自動ウェーハトランスポートユニットを備えています。機械のモニターユニットには、埋め込みプロセスの結果を測定および監視する一連の機器とセンサーがあります。サブミクロンの特徴を調べるための電子顕微鏡ツールと、ファラデーカップ、フォトダイオード検出器、衝撃イオン化検出器などの複数の検出器を備えています。また、ビーム制御アセットを備えており、ビーム電流、ビームサイズ、ビーム位置を調整して、着床プロセスの結果を最適化することができます。このモデルには、インプラントの前後に材料の元素と同位体を分析するための粒子質量分析計も含まれています。また、材料やその他の化学的および物理的性質の組成を分析するためのエネルギー分散分光計も含まれています。この装置にはデジタル制御ユニットが装備されており、ユーザーはビーム電流、埋め込み深さ、ビームエネルギーなどのさまざまなパラメータを調整することができます。また、コンピュータや他のネットワークに接続するためのネットワークインターフェイスを備えており、リモートアクセスとシステムの制御を可能にします。SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80は、材料中のイオンを高精度かつ高性能に埋め込むために設計された先進的なユニットです。高性能イオン注入器、電子顕微鏡、および注入プロセスの結果を監視するために使用される多数の検出器とセンサーを備えています。また、さまざまなパラメータを調整するためのデジタルコントロールユニットと、リモートアクセスと制御を可能にするネットワークインターフェイスを備えています。