中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9144963 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80はイオン注入器およびモニター装置です。主にデバイス製造の半導体製造プロセスで使用され、IC（集積回路）生産パイプラインに不可欠なツールと考えられています。具体的には、基板への電圧電位の伝達を制御し、ドーパントイオンの制御量を基板表面に埋め込むことができます。その結果、デバイスの電気特性を変更し、処理層を追加することで、デバイスの機能の完全性を向上させることができます。ハードウェアの面では、SEN NV GSD-80イオンインプランターおよびモニターシステムは、電子源、ガンエネルギー、アクセラレータ、ガイドおよびステアリングアセンブリ、コントローラ、および分析および測定ユニットで構成されています。この電子源は、基板材料を爆撃することによって大量のイオンを生成することができる小さな電子ビームです。ガンエネルギーザは、電子ビームの向きと強度を制御するために使用されます。次に、基板に向かってイオンを推進するのを助ける加速器が続きます。ガイドアセンブリとステアリングアセンブリは、電気機械操作を介してイオン軌道を制御および指示し、コントローラはユニットの全体的な動作を監督します。最後に、分析・測定ユニットは、オシロスコープや電圧測定など様々な方法でイオン注入の品質を監視するために利用されます。制御・操作面では、SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80イオンインプランターおよびモニタリングマシンは、高度にカスタマイズ可能で使いやすいです。そのユーザーインターフェイスは便利に呼び出されたパラメータ調整とレシピ管理を可能にするように設計されており、このツールを簡単に操作できます。さらに、ウエハハンドリングアセットの自動化と、パフォーマンスの最適化を実現するセルフチェックモデルを搭載しています。最後に、リアルタイムの状態監視にも対応し、迅速なトラブルシューティングとソフトウェアパッチのための統合された故障診断装置を備えています。住友EATON NOVA NV-GSD-80イオンインプランターとモニターは、高精度なイオン注入が可能な信頼性の高いシステムです。イオン注入のプロセスを究極的に制御するために設計された、経済的で効率的なデバイスです。その機能と便利な機能を備えたこのユニットは、半導体製造において非常に貴重なツールであり、現在、業界をリードする技術と見なされています。