中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-80 #9268760 を販売中

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-80
ID: 9268760
ウェーハサイズ: 6"
Ion implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-80は、半導体業界で使用される最先端のイオン注入器およびモニターです。導体基板に粒子やイオンを埋め込み、その性能を監視するための高精度制御を提供します。さまざまな研究開発アプリケーションに最適なツールです。NOVA SEN NV 10SD-80は、インストールと使用が簡単なフル機能のイオンインプランターとモニターです。最大80kVまでのイオン注入が可能な100mmオクタゴン真空チャンバーを内蔵しています。また、インプランターとモニターの性能を正確にモデル化する最先端のイオン光学シミュレータも内蔵しています。住友EATON NOVA NV-10SD-80のユーザーフレンドリーで直感的な制御システムにより、インプラント操作を正確かつ迅速にプログラムできます。このユニットには強力なソフトウェアプログラムが含まれており、ユーザーは簡単な操作から複雑な機能までの埋め込みプロセスを制御することができます。このソフトウェアには、効率的なデータ管理のための柔軟なデータロギングマシンも含まれています。このツールは、埋め込み精度と粒子の安定性を最適化するための高度な機能のセットを提供します。インプラントの正確なサイズを測定することができる高精度のスリットスキャンが含まれています。また、様々な条件下で均一な移植を提供するために、移植および調整可能な負荷およびアンロード設定の制御速度のための可変パルス幅を提供します。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-10SD-80は、基板上の移植の均一性を測定および監視するように設計された高精度の4方向調整可能な開口スキャン資産を統合します。このモデルはまた、特定の移植条件に合わせて調整されたさまざまなチャンバーバッフルを提供します。自動化された真空制御と安全機能により、インプラントの過加圧と汚染から機器を保護します。NV-10SD-80の高度な監視機能により、ユーザーは着床プロセスをリアルタイムで観察および測定できます。これは、より効率的な作業フローのための自動フィードバックを提供することができるデジタルディスプレイとコントロールコンピュータを備えています。システムの直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーは注入プロセスをすばやく理解して制御できます。住友EATON NOVA NV 10SD-80は、粒子やイオンを導体基板に注入し、その性能を監視するための高精度な制御を提供する高度で強力なイオンインプラントおよびモニターです。さまざまな研究開発アプリケーションに安全で効率的なプラットフォームを提供します。
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