中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 #9288565 を販売中

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160
ID: 9288565
ウェーハサイズ: 6"
Ion implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160は、産業用および研究用に設計された高性能イオンインプラントおよびモニターです。この機械は、3,000ボルトのエネルギーレベルまでイオンを加速することができ、非常に正確で再現性のある埋め込み深さ、形状、用量、およびプロファイルを保証します。インプランターには6分岐グリッドが取り付けられており、イオンの分散ビームを生成し、基板全体に均一なドーピングを生成することができます。これにより、イオンが一貫した角度で放電され、より正確な結果が得られます。また、SEN NV 10SD-160は、熱フィラメントカソード(電子エミッタの一種)を採用しており、熱電子または電界放射カソード系と比較して高い電流密度を実現しています。これらの先進的なコンポーネントは、高い精度と迅速な爆発速度を提供し、スループットレベルを大幅に向上させます。このシステムには、マルチチャネル電子モニターや高周波ディフェクトモニターなどの高度な機能も含まれています。電子モニターはスキャン速度を正確に測定することができますが、欠陥モニターはイオンイオン衝突やビーム経路に沿って発生する可能性のある摂動を検出することができます。システムはモジュラー設計で構成可能です。これは、リモートモニタリングと制御、データロギングと視覚化を可能にするために、さまざまな補助機器と統合することができます。SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160は非常に強力で信頼性の高いマシンです。その先進的な部品により、非常に正確で再現性の高い埋め込み深さ、形状、用量、プロファイルを提供することができ、非常に高速な爆発速度でスループットを大幅に向上させることができます。それは非常に構成可能であり、さまざまなコンポーネントの統合を可能にし、その強力な診断により、さまざまな産業および研究アプリケーションに適しています。
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