中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 #9272524 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160は、高性能イオンインプラントおよびモニター装置です。半導体ウェーハの精密イオン注入を可能にするように設計されています。SEN NV 10SD-160は、電子銃を使用して高エネルギーのビームを生成し、高エネルギーのイオン粒子を半導体ウェーハに埋め込むために使用されます。銃は160 KeVまでエネルギーで変化させることができ、線量の広い範囲を作り出すことができる。NV 10SD-160には、高度なコンピュータ制御プロセス監視およびデータ収集システムが装備されています。この高性能モニタリングユニットは、イオン注入の精度と移植された材料のデータ取得を可能にします。さらに、このマシンは、さまざまなウェーハを最適に埋め込むためのパラメータを自動的に調整することができます。住友EATON NOVA NV10SD-160は、イオンの効率的な埋め込みに不可欠な高真空チャンバーを搭載しています。これにより、ツールの最適化が可能になり、埋め込みサイクルにおける汚染を最小限に抑えます。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160は、イオン注入時に最適な安全性を確保するために、さまざまな高度な安全資産を備えています。過電圧の制限と接地断層絶縁システムを備えており、高感度の埋め込みを実行する際に最大限の安全性を確保します。結論として、SEN NV10SD-160は高性能で安全なイオン注入モデルです。高真空チャンバーと組み合わせた高度な監視およびデータ収集装置により、半導体ウェーハの精密埋め込みが可能です。監査および安全システムの範囲は、埋め込みを実行する際に究極の安全性を保証します。