中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80 #9269133 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80は、主に商用半導体産業のために設計された高度な電気イオンインプラント&モニターです。この先進工具はSEN/Sumitomo-Eatonによって製造され、様々なイオンを基板に埋め込むために広く使用されています。このデバイスは、高分解能イオン注入を備えた原子的に定義された基板を作成するのに役立ちます。SEN NV 10-80は、400-kVのRFQ超伝導体を備えた静電加速器を使用して、イオンを10-80 KeVのエネルギーまで加速します。このデバイスはデュアルイオンビーム源を備えており、さまざまな材料に基づいたバッチモードの埋め込みが可能です。このデバイスは、プラズマの安定性を向上させるために反転4クアドラント磁石電源によって駆動されます。さらに、このデバイスは基板をスキャンして取り付けるためのポジショナーを備えています。SUMITOMO EATON NOVA NV-1080は、ビームプロファイル、半径、角度など、半導体業界のさまざまな設定に最適化されています。ビーム電流はパルス源で制御することができ、基板への効率的なイオン注入を可能にするために調整可能です。アノードは、イオンビームエネルギーと電流の制御を可能にするために、可変レギュレーションで設計されています。このデバイスは、着床プロセス中の幅広いアクティブおよびパッシブモニタリングをサポートします。例えば、このデバイスはレーザー光の測定、ビーム電流の校正、陽極制御、電子乗算器などを備えています。in-situモニターは、イオン注入パラメータのリアルタイム表示と変動の場合のパラメータの調整を可能にします。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-1080は、注入プロセスの監視に加えて、ビーム電流調整、電圧校正、データストレージなどの機能も提供します。統合されたデータストレージ機能により、ユーザーは注入データを保存してレビューし、さらなる分析を行うことができます。結論として、NV-1080は、主に商用半導体産業のために設計された高度な電気イオン注入器&モニターです。このデバイスは、調整可能なエネルギーレベル、電流、位置などを備えた高分解能イオン注入を提供することができます。さらに、このデバイスは、注入プロセス中にさまざまなアクティブおよびパッシブ監視を提供し、注入パラメータのリアルタイム監視を可能にします。最後に、統合されたデータストレージ機能により、ユーザーは移植データを保存およびレビューすることができます。