中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA HE3 #293792242 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3は、信頼性に優れた高精度インプラント用に設計された高度なイオンインプラント&モニターです。高度な集積回路の生産において、高品質で比類のない性能を提供します。SEN HE3は、幅広いプロセスフローで生産レベルのインプラントを提供する汎用性の高い費用対効果の高いプラットフォームです。また、安定した再現可能な埋め込みのための高度なプロセス制御を提供します。最先端のSUMITOMO EATON NOVA HE3は、2段階のRFジェネレータ、印象的な精度と革新的なプロセスツールを備えた高度なビームラインジオメトリを備えています。高いビーム電流は、さまざまな材料やプロセスパラメータの効率的な埋め込みを提供します。また、低ビーム分散HE3高ビーム電流と組み合わせることでイオン種を効率的に埋め込むことができます。これらのパラメータの組み合わせにより、このシステムは浅い操作と深い操作の両方の着床に理想的です。SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3の強力な制御ソフトウェアは、ユーザーが優れた再現性と精度を達成するのに役立ちます。制御システムは、エネルギー、ビーム放出電流、ビーム電流密度、均一性、クロストークおよび最適化された埋め込みのための粒子組成を含むすべての重要なパラメータを監視します。また、レシピ主導の自律的なプロセスも備えており、ユーザーは簡単に着床操作をセットアップすることができます。SEN HE3の堅牢な高周波電源は、厳しい環境下でも安定した動作と正確な処理を保証します。また、過熱保護と低電力損失動作を提供し、信頼性と長寿命の動作を実現します。SUMITOMO EATON NOVA HE3は、高速サイクルタイム、高度なプロセス制御、信頼性の高い動作、堅牢なエンジニアリングにより、高精度のIC製造に最適な選択肢です。その例外的な価格/パフォーマンス比は、ほとんどのインプラントのニーズに最適です。