中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA HC3-180 #9056506 を販売中

SEN / SUMITOMO EATON NOVA HC3-180
ID: 9056506
ウェーハサイズ: 12"
High current implanter, 12".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA HC3-180は、世界で最も広く使用されているイオン注入装置の一つであるイオン注入器&モニターです。SEN/Sumitomo Electric Industriesが製造し、半導体製造業における埋め込みプロセスのパフォーマンスの分析および監視に使用されます。NOVA SEN HC3-180は、その分析において高い精度を生成することができ、ユーザーに監視するための幅広い埋め込みパラメータを提供します。NOVA SUMITOMO EATON NOVA HC3-180には、イオンビーム偏向装置を装備することができ、着床が行われる方向の監視と調整が可能です。また、空間精度制御システムで設定することができ、ユーザーは任意の平面に沿って着床の精度を微調整することができます。NOVA HC3-180は、ハードマスクプレイ、接触形成、表面平面化、接触穴充填など、さまざまなプロセスで使用するように設計されています。その高解像度の後部検出器は、着床プロセス中の狭い構造のより良い分析を可能にします。NOVA SEN/SUMITOMO EATON NOVA HC3-180は、高い自動化レベルを備えており、効率的で簡単なプロセスをユーザーに提供します。NOVA SEN HC3-180は、イオン光学電源抽出ユニットを内蔵しており、効率的な動作と精度を確保しています。この機械は、広範囲の埋め込みプロセスで使用するために特別に設計されています。NOVA SUMITOMO EATON NOVA HC3-180は、耐久性と信頼性の高い構造で設計されており、電気、熱、騒音、および振動干渉からの保護のいくつかのレベルをユーザーに提供します。NOVA HC3-180は、幅広いイオン注入アプリケーションで優れた性能を提供するように設計されています。高用量の混合イオンを扱うことができ、幅広い材料の埋め込みが可能です。NOVA SEN/SUMITOMO EATON NOVA HC3-180は、高温プロセス用に設計されており、生産環境での使用に最適です。全体的に、SEN HC3-180は高度なイオンインプラント&モニターであり、着床プロセスにおいて優れた精度と効率を提供することができます。NOVA SUMITOMO EATON NOVA HC3-180は、イオン光源抽出ツールと信頼性の高い構造により、あらゆる半導体製造ラボに最適です。
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