中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9245969 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HEは、ハイエンド半導体ウェーハ処理用に設計された先進的なイオンインプラントおよびモニター装置です。超ハイエンド製品の高精度インプラントと効率的なモニタリング機能を提供します。GSD-HEイオンインプラントは、コンパクトでありながら極めて強力な設計となっており、低抵抗基板への高精度インプラントを提供します。オートレベリング、正確なターンアラウンドレート、最適なウェーハスループットを実現する自動プロセスモニタリングなど、一連の独自技術を備えています。最先端の真空排気システムにより、オペレータの介入を最小限に抑えることができます。その3次元スキャンと最適化機能は、あらゆる表面に微調整された精密インプラントを可能にします。GSD-HEは、深い集中型インプラントから浅いインプラントや周辺インプラントまで、さまざまなインプラントのニーズに使用できます。また、超低抵抗層の形成や低熱拡散による均一なドーピングにも使用できます。その高度なイオン化法は、複雑で複雑な形状であっても、見事なプロセス歩留まりと品質を達成することを可能にします。GSD-HEモニタシステムは、線量、イオン電流、ビームサイズおよび位置、粒子エネルギー、粒子送り速度、およびその他のプロセスパラメータを高精度かつ高精度で測定するように設計されています。インプラントとトランジスタの両方の特性を継続的に監視し、インプラントとモニタユニットの適切な動作に関するフィードバックを提供します。これにより、最適な処理性能とウェーハ品質が保証されます。GSD-HEの洗練された温度コントローラは、インプラント温度が推奨値を超えないように設計されており、過熱注入に伴う問題のリスクを最小限に抑えます。独自のスティグマティックマグネティックレンズは、収差を最小限に抑えた精密なイメージングを可能にし、正確な埋め込み深度とビームサイズの正しいアライメントを保証します。GSD-HEは非常に高度なインプラントおよびモニタリングマシンで、高精度なインプラントと効率的なモニタリングを提供します。その統合技術は、プロセスをこれまで以上に高速化、円滑化、効率化するために組み合わされています。