中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-80 #293636198 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80は、高効率で精密なイオンインプラントとモニターです。半導体デバイスの製造を簡単かつ正確に行うように設計されています。SEN NV-GSD-80は、ビームスキャンと回転という2つの重要なプロセスに基づいています。最初のプロセスであるビームスキャンは、イオンをウェーハに埋め込むために使用され、2番目のプロセスである回転は、ウェーハを回転させ、基板上の均一なカバレッジを維持するために使用されます。AXCELIS NV-GSD-80は、20mmから1150mmまでの幅広いビーム径で構築されています。これにより、移植された粒子の線量率と角度範囲を正確に制御できます。これにより、基板に損傷を与えることなく、所望の着床が達成されます。 には最大 の電源が搭載されています。この発電機は、最大2Aのピーク電流に達する高電圧を生成することができます。これにより、リン、ホウ素、炭素、酸素などの幅広いイオンを正確に埋め込むことができます。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80のモニターは、ウェーハに供給される線量と電流を継続的に監視するように設計されています。それに2つの主要な部品があります：脈拍のタイマーおよびフォトマルチプラーの管。パルスタイマーは、基板上の任意の位置にビーム強度フィールドと線量に関する情報を提供する連続的なデジタル信号を生成します。フォトマルチプラ管は、イオン注入過程で発生する光のパルスを検出します。この情報は収集され、分析され、移植プロセスに関するフィードバックを提供します。SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80は、基板に損傷を与えることなく、高品質のインプラントを提供するように設計されています。これは、強力な電源、ビームスキャンおよび回転プロセス、および正確に監視された線量と現在の配信を利用することによって達成されます。SEN NV-GSD-80も使いやすく、注入プロセスの正確なコンフォメーションを可能にします。これにより、半導体デバイスの製造に理想的な選択肢となります。