中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-80 #293748707 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80は、半導体生産プロセスで使用されるように設計されたイオンインプラントおよびモニターです。この装置は、ホウ素、リン、ヒ素、および他のイオンの移植を容易にします。SEN NV-GSD-80は、モニターチャンバーと2つのインプラントで構成されています。2つのインプラントは、独自に動力を与えられたイオン源、磁場、加速電圧を使用して、適切なイオンを所望のエネルギーで制御および供給します。これは柔軟性を可能にし、さまざまなウェーハやアプリケーションに最適な結果を達成するのに役立ちます。両方のインプラントは、1つの自動ロボットメカニズムを介してロードおよびアンロードされ、均一性と効率を確保します。AXCELIS NV-GSD-80のモニターチャンバーは、イオンセンサー、ファラデーケージ、および移植プロセスを監視するさまざまな安全システムで構成されています。複数の高性能センサを使用して、着信イオンを正確に検出し、インプラントの影響を監視し、システムが所望のパラメータ内で機能するようにします。ファラデーケージは、ユニットの他の部分に偏向または漂流し、他のプロセスに影響を与える可能性のある粒子の数を最小限に抑えます。安全システムは、高圧過負荷、過圧、およびその他の潜在的な損傷から機械を保護します。NV-GSD-80はイオンを埋め込み、監視するための統合された環境を提供します。信頼性と柔軟性とオートメーション機能の組み合わせにより、デバイスはさまざまなアプリケーションに対して一貫した反復可能な結果を生み出すことができます。SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80は、損傷防止のための安全対策と着信イオン制御の詳細な理解により、最新の半導体生産ラインへの配置に最適です。