中古 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-10SD-80 #293748706 を販売中

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-10SD-80は、ウェーハ加工の高いスループットと品質を実現するイオンインプラントおよびモニターです。これは、要求の厳しいイオン注入アプリケーションのための信頼性と一貫した操作を提供します。SEN NV-10SD-80インプランターには、ビーム電流の増加や汚染レベルの低さなど、従来のイオン源に比べて複数の利点を提供するField Emission Source Technology （FE-S）が搭載されており、歩留まりと再生可能な性能が向上しています。イオン注入用に、AXCELIS NV-10SD-80には6方向調整可能なイオン源が装備されており、正確なビームとエネルギー制御が可能です。イオンビームは電子爆撃に基づいて生成され、イオンは機器内の電場と磁場によって収集および偏向されます。ビームサイズは調整可能なイオン光学系によって制御され、イオン速度は加速および減速電圧によって調整されます。NV-10SD-80は直径100mmまでの広い埋め込み窓を備えています。システムはまた、最大2ミリアンプのビーム電流で、高電流と高速ビーム注入を提供します。インプランターは、最大1300x1300mmの大処理領域、最大0。5m/sのパススピード、最大6パレットの積載能力を備え、高スループットに設計されています。また、自動アライメント、オートコリメータ、オートシャッター、自動線量測定などの自動制御システムもNV-10SD-80し、ウェハの品質向上を図っています。SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-10SD-80イオンインプランターには、リアルタイムビジュアルモニタ、ADA （Advanced Data Analytics）ユニット、追加のプロセスモニタなどの高度な監視システムが搭載されています。リアルタイムビジュアルモニタは、粒子を検出するレーザーマシンを提供し、ADAツールはイオンビーム電流、ビーム品質、欠陥パターンを測定します。さらに、SEN NV-10SD-80には、処理効率を向上させ、プロセス全体の整合性を確保するための貴重なデータを提供するオンチップアナライザ（OCA）モジュールがあります。全体として、AXCELIS NV-10SD-80は優れたイオンインプラントおよびモニタであり、要求の厳しいアプリケーションにおいて信頼性が高く一貫した動作を提供します。このアセットには、高度なイオン生成、操作、監視技術が搭載されており、ウェーハ製造プロセスの品質と高スループットを保証します。