中古 SEN NV-10SD-80 #9181750 を販売中

SEN NV-10SD-80は、高精度イオン注入のための効率的で信頼性の高いソリューションを提供するように設計された最先端のイオン注入器およびモニターです。4つのイオン源が埋め込まれており、主源は最大電流8mAの四極イオン源であり、80 keVの範囲までの浅角注入に使用できます。このデバイスはまた、1mAの電流を持つ三極子イオン源である二次ソースと、2つの追加のRFタイプのイオン源を備えています。NV-10SD-80は、イオンビーム線量およびパラメータの高速スキャンおよびプログラミングが可能であり、ビーム電流、エネルギー、および線量に対するクローズドループのフィードバックも提供します。サンプルの積み下ろしを容易にするために、真空中の3軸マニピュレータを使用しています。また、SEN NV-10SD-80には、着床プロセスをリアルタイムで制御するデジタルモニターを搭載しています。このモニターは、イオンビーム電流、エネルギー、線量パラメータを監視および制御するだけでなく、着床パラメータを設定するためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。また、安全性システムを内蔵しており、安全で信頼性の高い実装プロセスを可能にします。NV-10SD-80は、統合された精密エンコーダとマイクロプロセッサベースの制御システムにより、高精度と線量精度を保証します。また、温度制御されたイオン源チャンバーとサンプルホルダー用の低真空チャンバーを備えています。さらに、サンプルごとに詳細な結果を生成できる高速自動データ収集解析システムを搭載しています。SEN NV-10SD-80は、エレクトロニクス、半導体製造、その他の産業プロセス分野における幅広い用途向けに設計されています。基板レベルのドーピング、薄膜成膜、インターフェーシング層、表面処理など、さまざまな着床プロセスに使用できます。全体として、NV-10SD-80は効率的で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターであり、実装プロセスの成功に必要な精度と精度を提供します。