中古 SEN NV-10SD-160 #9181751 を販売中

SEN NV-10SD-160は、島津製作所が半導体用として開発・製造したイオンインプラント・モニターです。非常に汎用性が高く、費用対効果が高く、直感的な機器で、着床時に優れた性能を発揮します。NV-10SD-160は、VES （Variable Energy Stripping）技術を活用し、幅広いターゲットを通じて均一なインプラント・プロファイルを実現しています。ターゲット材料が識別されると、最適化された充電シーケンスを設定して、必要な最大用量の転送効率を最適化できます。また、6軸アライメントと補償ユニットを備えており、あらゆるインプラント角度で高均一インプラントを製造することが可能です。さらに、インライン注入後の診断機能を備えており、ユーザーは注入の低エネルギー安定性を監視することができます。このツールは最大効率160 keVを誇り、3段階の加速電圧は12、42、160 keVです。各ステージでは、ピッチ角度を0から90ºに調整して、さまざまな方向のインプラントに対応できます。メカニカルビームフォーカス機能により、常に最適化されたビーム性能を実現し、ビーム発散は0。1 mrad未満です。コンパクトなモジュラー設計と高い発電能力を備えたSEN NV-10SD-160は、多くのスペースを取らずに設置が容易です。このアセットは、過熱および熱的に生成されたイオン注入アーティファクトを防ぐ冷却機能を提供します。このモデルには、高い生産速度を可能にする真空フィードスルーと、10-7 Torrよりも優れた真空レベルを維持できる真空装置が装備されています。また、洗練されたウェーハハンドラを搭載し、高速かつ正確なウェーハ位置決めと最適なウェーハスループットを実現しています。NV-10SD-160は、幅広いICテスターや電子顕微鏡とも互換性があり、より広い生産ラインに簡単に統合できます。SEN NV-10SD-160はパワフルで汎用性の高いイオンインプラントおよびモニタで、高精度・高収量の半導体デバイスの埋め込みにおいて優れた安定性、制御性、精度を提供します。