中古 PVA TEPLA Evolution II Twin #9354499 を販売中

PVA TEPLA Evolution II Twinは、高度なデュアルビームイオンインプランターとモニターです。この最先端のツールは、イオン注入、監視、および制御のための高度な技術能力を提供します。PVA TEPLA Evolution Twinには、フルサイズの8インチエンドステーションと6インチサイドステーションがあり、柔軟性とスループットが向上します。高出力モニターステーションは、精密なプロセス制御を可能にします。さらに、高度なビームアライメント装置は、高精度のエネルギー、電流および側面プロファイル制御を保証します。これにより、粒子の蓄積が減少し、表面汚染が少なくなり、プロセス全体の品質が向上し、機械のダウンタイムが短縮されます。Evolution II Twinは、交換可能なインサートを備えたハイグレードなビームラインを使用して、システムを最適なパフォーマンスに設定できます。ビームラインは柔軟性のために設計され、高用量率で評価され、独自の線形スキャンとセグメンテーション技術が組み込まれています。また、迅速なイオンソースと堅牢なソースホルダーを備えており、数分で交換可能なソースを提供します。高度な材料および機器監視ユニットは、リアルタイムビーム電流レポートを通じて品質保証とプロセス制御、および自動ビームオフライン検出およびエラー報告を提供します。その他の機能として、ウェーハレベルでの高精度な制御を可能にする統合バイアスチューニングマシンや、イオンエネルギーとビーム強度を直接監視するリアルタイムスパッタモニタがあります。PVA TEPLA Evolution II Twinは、高度なアラームと診断機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えており、最適化された機器とプロセス監視のために設計されています。使いやすいハイレベルソフトウェアにより、パラメータ操作が容易になり、プロセスの再現性が向上します。全体的に、Evolution II Twinは柔軟性のために設計された強力なツールであり、プロセス品質、スループット、信頼性が最適化されています。高度なイオンデリバリーアセット、統合された監視と制御、直感的なユーザーインターフェイスを備え、市場でも有数のイオンインプラントおよびモニターです。