中古 PVA TEPLA Evolution II Twin #293605828 を販売中

PVA TEPLA Evolution II Twinは最先端のイオン注入器およびモニターです。優れた信頼性、高い生産スループット、高品質のインプラントとモニタリングを提供します。その高性能レーザダイオード技術は、効率的で効果的な粒子処理を提供します。Evolution II Twinのモジュール設計により、オペレータは特定のタイプのイオンを半導体ウェーハに埋め込むように設定できます。これには、低エネルギー変調可能イオン源、高エネルギー変調可能イオン源、パルスイオン源が含まれます。低エネルギー変調可能イオン源は、イオンエネルギーとタイプを調整する機能を提供し、可変エネルギー、パルス期間、および変調機能を備えた同位体とイオンの選択を提供します。高エネルギー変調可能なイオン源により、着床時にイオンエネルギーとタイプを変化させることができ、高エネルギーイオンの範囲を提供し、高速イオンでの動作を可能にします。パルスイオン源は、特定のタイプのイオンを正確かつ迅速に埋め込む能力を提供します。幅広いパルス持続時間とエネルギーでの着床が可能で、精密インプラントによる高スループット動作が可能です。PVA TEPLA Evolution II Twinの自動ビーム搬送装置は、精密コンピュータ制御の電気機械式アクチュエータを使用して、イオンをソースから移植ゾーンに素早く正確に搬送します。3つの独立した並列パスがあり、それぞれに独自のビーム監視システムがあり、着床時に各ビームを同時に監視できます。Evolution II Twinのもう1つの重要な特徴は、植え込み工程で発生する熱を除去し、最適な植え込み条件を維持し、信頼できる結果を保証する高度な冷却ユニットです。この冷却機は、比類のない冷却安定性を確保するために水冷ドアツールを採用しています。PVA TEPLA Evolution II Twinには診断モニターも備えており、オペレータはインプラントの精度を継続的に検査することができます。さらに、Ethernetインターフェースを介して他のコンピュータに放射能測定とブロードキャストプロセスデータを実行する機能も提供します。要するに、Evolution II Twinは高性能イオンインプランターとモニターです。モジュラー設計と機能の配列により、オペレータは注入に使用されるイオンのエネルギーとタイプを正確に制御することができ、優れたウェハ品質を実現します。堅牢な冷却資産により、最適な埋め込み温度が保証され、強力な診断とイーサネットインターフェイスにより、信頼性と安全性が保証されます。