中古 NOVA T500 #9233720 を販売中

NOVA T500は、集積回路の製造に使用される高度なイオン注入器およびモニターです。集積回路の製造に不可欠なイオンの高速移植が可能です。真空チャンバーを通過するイオンの高電圧（HV）ビームを使用して、ウェーハに向けられたイオンビームを作成します。次に、イオンビームが個々の基板に集中します。T500はイオン注入プロセスの効率を最適化するためにプログラム可能な制御装置を利用します。NOVA T500は、ソースとターゲットをスキャンしてイオンビームを制御するスキャンシステムを使用します。これにより、ビームを基板上のさまざまな場所に正確にステアリングできます。さらに、ビームサイズ、形状、エネルギー、電流などのビームパラメータを監視および制御するために、フィードバックユニットが組み込まれています。これにより、基板上の正確な材料沈着のためにビームが適切に集中していることが保証されます。T500はまた基質の複数の位置の異なった注入の線量を可能にする複数の地帯の部屋を特色にします。基板表面全体に微調整と均一な成膜が可能です。さらに、NOVA T500には、着床前にイオン源を完全にイオン化する高度なイオン化チャンバーが装備されています。これにより、パラメータの点でイオンビームの均一性と精度が向上します。T500はまた、任意の変化や異常を検出するために、ビームパラメータとプロセス環境を監視する専門の監視マシンを備えています。さらに、リアルタイム診断ツールを使用して、NOVA T500の動作における問題を検出します。これにより、注入プロセス全体で最大の効率と信頼性が保証されます。T500は、優れた性能、精度、および信頼性により、集積回路の製造に最適です。これは、高精度で均一なイオンの注入のための強力で信頼性の高いプラットフォームを提供します。さらに、専用のモニタリングアセットにより、注入プロセスが正確かつ効率的に実行され、最適な結果が得られます。