中古 NISSIN NH-20SR8 #293642812 を販売中

NISSIN NH-20SR8は、精密で高品質なイオンを幅広い基板に埋め込むために設計された、洗練されたイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、大きな領域にわたって固定、可変、または混合基板に高電流と用量を提供することができます。これは、自動基板マニピュレータ（ASM）を備えており、異なる線量範囲で異なるエネルギーのイオンを埋め込むことができ、異なるビーム速度で埋め込みプロファイルを正確に制御することができます。性能面では、NH-20SR8は300kVの最大電圧能力を持つ、大きなビーム電流範囲の4-20mAを持っています。ビーム電流安定化時間は≤ 3ミリ秒で、イオンエネルギー範囲は0.01-200keVです。このユニットは、最大6インチウェーハに対応でき、最適な結果を得るために基板を正確に操作することもできます。NISSIN NH-20SR8は最先端のイオンモニターと統合されており、イオンビームプロファイルの制御に役立ち、移植されたイオンを正確に検出することができます。移植されたイオンの線量と電流レベルを正確に測定し、モニター画面にリアルタイムで表示します。また、さまざまなインプラントとモニタリングオプションを提供するためのプログラムも事前に設定されています。NH-20SR8は堅牢で信頼性が高く、注入プロセスを正確に制御できます。安全機能が内蔵されており、安全でない状態での誤った動作や機械への損傷を防ぐロックアウト機構を備えています。さらに、産業オートメーションシステムへの容易な統合のためのPC/PLCインターフェイスが装備されています。このツールは、チラー、真空ポンプ、およびドライブなどの他の外部デバイスに接続するようにプログラムすることもできます。全体として、NISSIN NH-20SR8は強力で汎用性の高いイオンインプランターとモニターです。インプラントのプロファイルを正確に制御し、正確さを監視する高度な機能を備えており、堅牢な安全性と統合機能を備えています。これにより、様々な基板の中・大量生産に最適です。