中古 NISSIN NH-20SR #9144958 を販売中

NISSIN NH-20SRは、高精度イオン注入アプリケーション向けに特別に設計された信頼性の高い効率的なイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、インプラントのパラメータを効率的かつ正確に監視し、プロセスパラメータを自動的に制御し、移植されたシリコンウェーハの残留損傷などの重要なパラメータを正確に測定するように設計されています。NISSIN NH 20SRはマルチモードイオン源を使用しており、ホウ素から高原子数（Z）材料まで様々な材料を効率的かつ正確に埋め込むことができ、精密なビーム操作のためのイオン光学制御が含まれています。ユニットのイオンビームスキャナは、イオンビームのスポットサイズをイオンエネルギーと線量に影響を与えることなく制御できます。NH-20SRは、ミッションコンピュータマシンを備えており、効率的な操作のための自動データ取得、処理、およびストレージを可能にします。NH 20SRツールは、人員や機密機器を保護するための安全機能も備えています。それは自動レーザーの安全インターロックおよびエネルギーイオン探知器を含んでいます。また、プロセス汚染を監視するための残留粒子イオンモニターも備えています。NISSIN NH-20SRは、強力なオートメーション機能により、インプラントのパラメータを正確に制御することができます。これには、インプラント前イオンビーム電流、インプラント前ビームエネルギー、インプラント後ビーム電流、インプラント後ビームエネルギーを制御する機能が含まれます。この資産は、インプラントの線量とモデル精度を監視することもできます。自動化されたテスト機能が含まれており、プロセスの品質に関する迅速なフィードバックを提供します。NISSIN NH 20SRのモニターシステムは、インプラントのプロセスパラメータを正確かつ確実に監視します。これには、ビームエネルギーと電流、ビーム位置、ウェーハ電流と抵抗、およびウェーハの損傷を測定する機能が含まれます。用量依存反動範囲、用量モニタテスト解析、ビーム過渡試験解析など、特殊な監視機能も利用できます。NH-20SRには強力なデータストレージと分析機能が搭載されており、インプラントのパラメータとバッチデータアーカイブ用のデータストレージが含まれます。また、システム情報のリアルタイム表示、グラフ測定、データ分析などのデータ解析や機器監視にも対応しています。全体として、NH 20SRは、さまざまなアプリケーションでイオン注入および監視プロセスを実行するための効率的で正確で信頼性の高いユニットです。高度なオートメーション機能、強力な監視機能、堅牢なデータストレージおよび分析機能により、インプラントのニーズに合わせて正確な制御と正確な測定を求めるお客様に最適です。