中古 NISSIN NH-20SR #9111754 を販売中
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NISSIN NH-20SRは、半導体や絶縁膜などの様々な基板にイオンを埋め込むために使用されるイオンインプラントおよびモニターです。この技術は、基板の物理的および電気的特性を変更するために使用できるため、多くの用途があります。NISSIN NH 20SRは、正確なイオン注入を提供する機能を備えた信頼性の高い、使いやすいイオン注入器です。NH-20SRは、リモートコントロールと監視のためにイーサネット接続で構成された高度なビーム監視システムを備えています。これにより、埋め込まれている基板の正確な分析が可能になり、リアルタイムでデータを提供することができます。NH 20SRは、線量、傾き、ビームパルス形状、入射角度などのパラメータを迅速に調整することができます。また、調整可能な基板ホルダーは、さまざまな生産および研究アプリケーションに適した機器です。NISSIN NH-20SRには、イオン種とイオンエネルギーの幅広い処理を可能にする6kV三段式抽出銃が装備されています。超低エネルギーから180keVまで。NISSIN NH 20SRは、より精密な移植制御のために、移植電流からの移植イオン量を正確に測定するロービーム電流モニターを搭載しています。統合されたソフトウェアは容易な操作のための相互およびグラフィカルなユーザーインターフェイスをユーザーに与えます。このユーザーインターフェイスは、インプラントのパラメータを表示し、イオンビームとインプラントのプロセスの制御を容易にするフィードバックを提供します。NH-20SRにはオンボードデータロギングも含まれており、ユーザーは将来の参照または比較のために埋め込みプロセスデータを保存することができます。全体として、NH 20SRは、正確で効率的なイオン注入に使用される強力で信頼性の高いツールです。高度なビーム監視システム、調整可能な基板ホルダー、統合されたソフトウェア、およびロービーム電流モニタなどの優れた機能を備えており、幅広い生産および研究アプリケーションに適しています。このイオン注入器とモニターを使用することで、ユーザーは正確なイオン注入の利点を享受することができます。
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