中古 NISSIN NH-20SR #293821330 を販売中

NISSIN NH-20SR
ID: 293821330
ウェーハサイズ: 6"
Implanter, 6".
NISSIN NH-20SRは、半導体デバイスの高精度・高スループット生産を目指して設計された多面的イオンインプラントおよびモニター装置です。これは、投与とモニタリングの両方の組み合わせシステムであり、さまざまなドーピング要素を基板に正確に埋め込むための信頼できる方法を提供します。NISSIN NH 20SRは、水溶液にイオンを含有する液体投与装置を使用しています。この溶液は、セット電流でインプランター室に供給され、基板全体に適用されます。用量はビームシャッターを使用して調整および制御され、必要な要素を正確に埋め込むことができます。移植されたイオンは基質を通過して基層に入り、原子的に結晶格子に混合されます。イオン注入が完了すると、NH-20SRは光学ビーム法とイオンビーム法を組み合わせて、移植されたイオンの濃度と基板全体の濃度プロファイルを監視します。これにより、エンジニアは正確な測定を行い、注入プロセスの正確さを保証することができます。NH 20SRは、高度なリアルタイムビームシャッタリングマシンも備えています。ビームを高精度にシャッタリングすることで、高速かつ高精度な動作を実現します。これは生産ラインおよび実験室のために特に有用である。NISSIN NH-20SRは、様々な安全対策を講じて、安全で信頼性の高い着床プロセスを実現しています。これらには、高圧保護、インターロック、監視アラーム、リモートエマージェンシーシャットダウン、およびさまざまな監視機能が含まれます。NISSIN NH 20SRは、半導体デバイスの製造に精度と安全性を提供する高度なイオンインプラントおよびモニタツールです。堅牢な設計、リアルタイムビームシャッターアセット、包括的な安全機能を備えたNH-20SRは、効率的で信頼性の高い埋め込みモデルを望むエンジニアやラボにとって理想的な選択肢です。
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