中古 NISSIN NH-20SR #293776330 を販売中

NISSIN NH-20SRは、半導体デバイス製造用に設計された高性能イオンインプラントおよびモニターです。ホウ素、リン、ヒ素などのドーパントを、高いサンプリングレートと優れた精度でシリコンウェーハに埋め込むことができます。NISSIN NH 20SRは、イオンビーム爆撃を利用して、ドーピングイオンを標的材料の格子構造に駆動し、材料中のドーピング元素の量と分布を正確に制御することができます。NH-20SRは、1 keV〜250 keVのインプラント・エネルギー範囲を持つ幅広いインプラントを提供しています。これにより、低温から超浅い接合プロセスまでのドーピング層の柔軟性が可能になります。また、イオンカウント補間では± 1％、イオンエネルギー分布では± 3％の精度で非常に高精度なインプラントを提供します。これにより、非常にタイトな形状にも精度の侵入が可能になります。NH 20SRには、高速クローズドループスキャンコントローラを含む包括的な監視システムが付属しています。これにより、エラーを検出して時間内に修正することが容易になります。さらに、このシステムは、スムーズで均一な埋め込みプロセスを提供するために、オプションの共同抽出およびビームダンピング機能を提供します。NISSIN NH-20SRは、イオンを対象物質に入る前に所望のエネルギー範囲に入れる、統合されたプリアクセラレーションも備えています。これにより、正確な層へのドーピングの精度と再現性が保証されます。NISSIN NH 20SRは、市場で最も効率的で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターの1つです。それは使いやすく、維持し、材料および技量の欠陥に対する2年の保証と来ます。これらの理由から、半導体デバイスの製造には素晴らしい選択肢です。