中古 NISSIN NH-20SR #293637187 を販売中

NISSIN NH-20SRは、日産エレクトリックワークスが開発したイオン注入監視装置です。高精度イオン源を搭載し、最大20mAビーム電流容量を備えています。このシステムは、マルチプリーツRFイオン源、イオンビーム延長管、二重変位ビームライン、高エネルギー注入用のハイマスビームラインユニット、X-Yスキャンユニット、高電圧マルチチャネル電源、デジタル入力コントローラ、および高感度デジタルディスプレイモニタで構成されています。NISSIN NH 20SRは、イオン注入、反応性イオンエッチング、イオン注入および加速度シーケンシャルプロセスアプリケーションに最適です。B、 He、 P、 Si、 Si、 As、 Csなど様々なイオンを低から高まで様々なエネルギーで埋め込むことができる。このユニットは、ビーム電流調整能力が高い60KVまでの非常に広い電源電圧を提供します。複数のビーム出力により、高精度のインプラント調整が可能です。NH-20SRは、ユニークな人間工学に基づいたデザインのユーザーフレンドリーなテーブルトップインプランターで、取り扱いが簡単でメンテナンスも簡単です。インプラントのプロセスを効果的に監視し、リアルタイムで結果を得ることができます。NH 20SRは研究および二重接合の太陽電池、トランジスタおよびMEMS装置の製造のために使用することができます。この機械には3段階の高精度ラジアル磁場が組み込まれており、イオンビームを正確に薄い基板に埋め込むように導くことができます。低ノイズレベルで動作し、高い収集効率を持ち、基板の損傷を低減し、高い歩留まりを実現します。NISSIN NH-20SRのもう1つの特長は、ビーム電流/電圧変動をプリセット範囲外で即座に検出し、デバイスの製造不良を防止するセルフモニタリングツールです。NISSIN NH 20SRは、高度な機能と運用の信頼性により、さまざまなハイテク産業で幅広く活用され、高い生産歩留まりを持つ耐久性と信頼性の高い高性能デバイスを製造しています。その大幅な費用対効果、コンパクトな設計、簡単なメンテナンスにより、製造プラント、研究およびエンジニアリング機関、大学にとって理想的なソリューションとなります。