中古 NISSIN NH 20SP EX #293603084 を販売中

NISSIN NH 20SP EXは、日新電機が設計・製造した最先端のイオンインプラントおよびモニターです。Ltd。（株）これは、様々な材料の基板の信頼性、正確かつ効率的なビームカバレッジを提供するために構築されています。NH 20SP EXは、高出力電子銃（HPG）を使用してイオンを生成し、そのイオンを基板上に加速して埋め込みます。このイオン注入器には、精密なアライメント、高効率な2次元スキャン、均一なビームカバレッジのための高精度の照明付きレチクルと電動ステージが装備されています。幅広いビーム電流とエネルギーを供給できるため、複数の着床アプリケーションに適しています。NISSIN NH 20SP EXは、3つのラムダダイオードからなるマルチチャンネルインプランタモニターを使用して、インプラントのパラメータを連続測定します。このモニターは、操作パラメータの小さな変化を簡単に検出し、所望の着床プロセスを維持するためのあらゆる欠陥をすばやく補償することができます。NH 20SP EXは、任意の二次イオンの生成を防止するYビームシェーピングシステムを備えています。これにより、任意のサイズの基板に均一なビームカバレッジが容易になります。さらに、統合された精密位置決めシステムにより、基板表面の高精度なビームセンタリングが可能になります。安全性と運用効率を確保するため、NISSIN NH 20SP EXには、密閉型の連結型ドアが用意されています。これらのドアは、生産性を最大化するための安全装置であり、ノンストップサービスを提供する手段でもあります。全体的に、NH 20SP EXは汎用性が高く、正確で信頼性の高いイオンインプランターとモニターです。これは、高度な機能の広い範囲を装備しており、任意の材料の基板の信頼性の高い、正確かつ高速の埋め込みのための理想的な選択肢です。