中古 NISSIN IHC 3000 #9103089 を販売中

NISSIN IHC 3000
ID: 9103089
ウェーハサイズ: 8"
Ion implanter, 8".
NISSIN IHC 3000イオンインプラントとモニターは、イオンを基板に埋め込むための洗練された装置です。結晶材料やアモルファス材料、金属、半導体、ポリマーなど様々な基板にイオンを埋め込むことができます。IHC 3000はイオン源、加速の部屋、ビームライン、サンプル区域およびデジタルモニターと造られます。イオン源は、埋め込むべき正の荷電イオンを供給する責任があります。加速チャンバーは、イオンの所望のエネルギーレベルを作成するための責任があります。ビームラインは着床角度を決定し、サンプル領域は目的の基板への着床を可能にします。デジタルモニターは、プロセスを監視し、ユーザーが必要に応じてパラメータを調整するのを支援する責任があります。NISSIN IHC 3000は、精度、安全性、経済性を最大化するために、多数の機能を備えて設計されています。望ましいイオンの正確な埋め込みを確保するために、各埋め込みステップのエネルギー、強度、ビーム電流、およびドウェル時間を制御することができます。また、埋め込み工程で発生する真空による基板への潜在的な損傷を低減するための低真空装置を備えています。IHC 3000は、安全性を高め、安心してご利用いただけるよう、過電流モニタと回路保護機能を搭載しています。さらに、装置ができるだけ安全に動作するようにするために、接地システムが含まれています。最後に、NISSIN IHC 3000は、着床装置の経済性を高め、寿命を延ばすように設計されています。高価な洗浄を必要とする汚染を低減または防止するために設計された真空チャンバー、より高い一貫性と精度のための自己校正の内部電流監視ユニット、および望ましい充電レベルを維持しながら材料を節約するための半導体リサイクルマシンを備えています。IHC 3000は、精度、安全性、経済性を最大化するために設計された一連の機能を備えた高度なイオンインプラントおよびモニターです。その簡単な操作と信頼性の高い性能は、さまざまな基板にイオンを埋め込むのに理想的な選択肢です。
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