中古 NISSIN Exceed 300AH #9103092 を販売中

NISSIN Exceed 300AHは、高精度の半導体デバイスを製造するために設計された、汎用性と信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。ボロン、リン、ヒ素などの光イオンや銅、金、銀などの重金属イオンを高精度に埋め込むことができるため、高度な半導体デバイスメーカーに最適です。Exceed 300AHにはデュアルモードプロセスコントロールテクノロジーがあり、イオン注入操作を監視および制御して、配信されたエネルギーと線量が事前に決定された限界内に保たれるようにします。このデュアルモードプロセス制御技術は、注入パラメータをリアルタイムで均一に調整し、注入操作の高精度と精度を確保する機能も備えています。さらに、スキャン検出システムを内蔵しているため、最適な着床のためにパラメータを自動的に検出して調整することができます。NISSIN Exceed 300AHはモジュラー設計を採用しており、イオン注入を拡張する柔軟性と多数の周辺部品を備えています。これらのコンポーネントには、ターゲット反射器、スキャンコントローラ、イオン電源、検出テーブル、および低電圧コネクタが含まれます。Exceed 300AHには完全に統合された電源システムがあり、着床サイクル全体にわたって安定した信頼性の高いエネルギーを確保し、部品の寿命を延ばすことができます。さらに、低電圧検出器を内蔵しており、ユーザーは埋め込み作業中の埋め込みプロセスを監視することができます。これにより、すべての堆積イオンが同じ深度に埋め込まれ、着床制御がより厳しくなることが保証されます。さらに、NISSIN Exceed 300AHには、基板温度と粒子の均一性を最適化するための高度な診断機能が含まれています。自動ノズルポジショナーを提供し、均一な用量を確保することにより、正確なイオン注入とイオンのスループットの向上を容易にします。このマシンには、過剰投与による重要なコンポーネントへの偶発的な損傷、または敏感な領域に入るその他の高エネルギー粒子を防ぐために、除外ゾーンなどの多くの安全機能があります。Exceed 300AHは、半導体デバイスの埋め込みなど、さまざまな用途において、精密なイオン注入操作を優れた制御を提供するように設計されています。これは、イオン注入操作のためのプロセス制御と精度の例外的なレベルを提供する信頼性の高い高度なデバイスです。