中古 NISSIN Exceed 3000 #9393124 を販売中

NISSIN Exceed 3000は、半導体製造機械および装置の有名な生産者であるNISSIN Corporationによって開発された高性能イオンインプラントおよびモニターです。幅広い半導体アプリケーション向けに超精密基板イオン注入を提供し、基板の詳細な分析と注入プロセスの監視を可能にする高度な機能を備えています。この機械の高度な工具は、注入イオンの構成パラメータ（注入電流、居住時間、深さ、流動性を含む）を正確かつ確実に制御する能力をユーザーに提供し、最も正確で効率的な注入と最高品質の結果を得ることができます。Exceed 3000の中心には、モジュラーで適応可能なデザインがあります。最大4つのイオン源に対応できるマルチチャンバーシステムを採用しており、それぞれ特性が異なり、ユーザーは着床操作をカスタマイズし、スループットと生産性を最大限に高めることができます。さらに、高速かつ高精度な同心回転のための強力な多軸モーションコントローラ、最適なイオンビームスキャンのための高電圧および高束束ビーム集束システム、および最適化されたエネルギー配分のための高エネルギー空圧遅延ラインなど、その高性能に貢献するいくつかの革新を提供します。NISSIN Exceed 3000には、イオン注入プロセスを細心の注意を払って測定および分析するための高度な監視および分析コンポーネントもあります。埋め込み時に基板から放出されるイオン逆散乱を検出し監視することができ、埋め込み前後の基板表面からさまざまな二次イオン質量分析（SIMS）測定を行うことができます。これらの詳細な分析により、ユーザーは注入プロセスに関する重要なフィードバックを得ることができ、注入設定を調整することができます。さらに、基板の深さプロファイルを高い精度で測定することができ、着床プロセスの正確な記録を提供します。結論として、Exceed 3000は、比類のない性能、精度、および制御を提供する最先端のイオン注入器およびモニターです。高度なモジュラーおよび適応可能な設計、高度なビーム集中システム、包括的な監視および分析ツールを通じて、このマシンは、最も厳格なイオン注入タスクのための包括的なソリューションと無敵のプラットフォームを提供します。