中古 NISSIN Exceed 2300AV #198070 を販売中

NISSIN Exceed 2300AVは、優れた性能と汎用性を提供するイオンインプラントおよびモニターです。この機械は、ホウ素、リン、酸素などの様々なイオンをさまざまな半導体材料に埋め込むことができます。8MeV 5Vの精度で最大±のエネルギーまでイオンを埋め込むことができ、デューティサイクルは1時間あたり1。1％です。これにより、イオンを基板に正確かつ再現可能な熱拡散が可能になり、デバイスの変動を低減し、複雑なトランジスタ設計を可能にします。Exceed 2300AVには、移植されたイオンに関するリアルタイム情報を提供するマルチグリッドモニターもあり、ビーム電流を効率的かつ正確に制御できます。特許取得済みのSCALON Focusシステムは、最大0.27µmの線幅と± 1％の総イオンビーム電流精度で優れた照射精度を提供し、各デバイスに正しいレベルのイオンが含まれていることを保証します。さらに、VIBEJETイオンビームは、1％の均一なエネルギー拡散を有するイオンの均一な注入を可能にします。NISSIN Exceed 2300AVは、優れた非均一補償技術も備えています。これには、注入時にビーム電流、インプラント角度、およびウェーハ上のビームの線量を調整することによって、インプラントのプロファイルの非均一性を最小限に抑える均一性補正アルゴリズムが含まれます。これにより、単一のウエハ上のすべてのデバイスの歩留まりと均一なパフォーマンスが向上します。全体的に、Exceed 2300AVはマルチグリッドモニター、SCALON Focusシステム、VIBEJETイオンビームなどの機能で優れた性能を提供する汎用性と信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。その非均一性補償技術は、均一なデバイス性能を保証し、コスト効率の高い生産を保証し、市場投入までの時間を短縮します。