中古 NISSIN Exceed 2300AH #293639237 を販売中

NISSIN Exceed 2300AHは、幅広い基板にイオンを正確に埋め込むために使用される高性能イオンインプラントおよびモニターです。超過2300AHは、ニュートラライザーと充電交換装置を使用して、空間精度の高い3次元均一な粒子場を作成することにより、高閉塞と高精度イオン注入を生成します。最大300KVの高加速電圧により、極めて精密な制御が可能で、低エネルギースプレッドが可能です。NISSIN Exceed 2300AHには、シャドーイングを最小限に抑える最適化されたソースおよびターゲットジオメトリがあり、安定した一定のイオンビームを確保するために2つの広いイオン源が装備されています。ビームレットシステムには、最小イオン汚染のための充電中和機能が含まれています。統合されたビームシェーピングユニットは、より広い均質な領域にわたって均質なビーム特性を保証します。また、ビーム径を測定し、ビームプロファイルを計算するためのCCDカメラも備えています。さらに、Exceed 2300AHには、基板表面の小さなイオンの欠陥やその他の不規則性を検出するように設計された電界放射走査電子顕微鏡（FESEM）があります。NISSIN Exceed 2300AHは、幅広いエネルギー、用量、表面領域にイオンを埋め込むことができるため、幅広い用途に適しています。このツールはまた、特定のアプリケーションで非常に有用な線量率チューニングを可能にするように設計されています。Exceed 2300AHの制御ユニットは、効率的で効果的な着床のためのすべての条件を生成するように設計されています。このアセットは、最適なパフォーマンスと幅広いパラメータを制御できるように設定されています。最後に、NISSIN Exceed 2300AHはユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、施設内の他のコンポーネントと通信できる包括的なネットワークを提供しています。Exceed 2300AHは、最高の効率と精度でプラントの稼働を保証する強力なソフトウェアとハードウェアを提供します。