中古 NISSIN Exceed 2000 #9221084 を販売中

NISSIN Exceed 2000は、半導体デバイス製造のための信頼性と汎用性の高いイオン注入ソリューションを提供するために使用されるイオン注入器およびモニターです。具体的には、イオンを加速し、シリコンなどの材料に移植して電気特性を変化させます。2000を超えると、イオン源、ビームライン、エンドステーション、モニターの4つの主要コンポーネントで構成されます。イオン源は、金属イオン源とガスイオン源の2つの別々のチャンバーで構成されています。イオン源はビームラインに接続されており、ビームを曲げて焦点を合わせるための一連の磁石で構成されています。エンドステーションは、基板表面にイオンを供給するために使用されます。モニターは、操作中にビームを監視および制御するために使用されます。NISSIN Exceed 2000は、シングルレベルインプラントから高電流混合インプラントまで、幅広いインプラント工程に対応します。ビーム制御の程度が高く、1keV〜25keVのビームエネルギーと1mA〜120mAのビーム電流で動作できます。さらに、Exceed 2000は、ビーム切断や自動シャットダウンを検出する機能など、多くの安全性とセキュリティ機能を備えています。NISSIN Exceed 2000は、イオン注入のための強力で信頼性の高いツールであり、半導体デバイス製造や医療同位体製造など、さまざまな用途に広く使用されています。その機能は、高度で信頼性の高い技術を必要とする人々のための優れた選択肢となります。