中古 NISSIN Exceed 2000 #9178081 を販売中
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NISSIN Exceed 2000は、高精度イオン注入のための高性能で自動化されたイオン注入器とモニターです。生産性と精度に優れた性能を発揮し、半導体デバイスの製造や研究に最適です。Exceed 2000は、ガリウム、フッ素、ヒ素、リン、ホウ素など、さまざまなイオンを使用する多軸多源インプラントです。このシステムは、500mm x 250mmの大きなターゲットチャンバーを備えているため、大規模なイオン注入に適しています。電源はすべて独立して調整されており、イオン投与量を正確に制御できます。ビーム光学系と角度アライメントは高分解能の埋め込み用に設定でき、イオンエネルギー、直径、角度を高精度に制御できます。NISSIN Exceed 2000は、着床プロセスの常時監視に使用できる統合監視システムを備えています。それは注入の間に線量の完全性の変化を検出できる光学アライメントおよび電子監視システムの選択を備えています。これは、イオン線量がプロセス全体で一貫していることを確認するのに役立ちます。Exceed 2000には幅広いソフトウェアとオートメーション機能が搭載されており、ユーザーは簡単にインプラント処理を制御および管理できます。直感的なユーザーインターフェイスにより、システムの簡単なナビゲーションと制御が可能です。また、定義済みのインプラントのレシピと、特定のタスクのカスタムレシピを作成するオプションも備えています。ソフトウェアにはビジュアライゼーションとレポートモジュールもあり、ユーザーは埋め込み結果をすばやく表示および分析できます。NISSIN Exceed 2000は、信頼性の高いユーザーフレンドリーなイオンインプランターおよびモニターで、さまざまなアプリケーションに適しています。高精度、高精度、自動化により、Exceed 2000は高品質のイオン注入に効率的かつ効果的なソリューションを提供します。
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