中古 NISSIN Exceed 2000 #9134046 を販売中

NISSIN Exceed 2000は、生産ニーズと研究用途に特化して設計された革新的なイオンインプラントおよびモニターです。この独特な装置は線量の正確さの優秀なビーム輸送、均等性および制御を提供します。このシステムは2軸スキャンを内蔵しており、独自の「3D Cell」ノズルによりウェーハのスライスとダイシングが可能であり、粒子の破片やクロス汚染を低減します。Exceed 2000は、一般的なエンジニアリングからマイクロエレクトロニクス、ナノテクノロジーまで、さまざまな用途に使用される一般的な製造装置です。NISSIN Exceed 2000のシングルオブジェクトビームユニットは、小面積および大面積イオン注入の両方に優れた精度を提供します。シングルソースビームは、蓄積された誤差とアライメントを最適化し、ウェーハ表面の粒子汚染を最小限に抑えます。機械は調節可能なビームスキャンの配列を提供し、異なった形のインプラントを可能にし、台形および円形の形の注入を可能にします。2000を超えると、イオンビームパラメータを厳密に制御し、より良い結果を得ることができます。例えば、インプラントの形状と用量の均一性は、ツールの個別の前加速段階と後加速段階の使用によって微調整することができます。また、高速オートチューニング機能、プログラマブルベベル、自動ローディングアームなど、幅広い高度な機能を提供します。これにより、難易度の高いプロセスレシピに最適なビーム特性が保証されます。NISSIN Exceed 2000は、堅牢なモーションコントロールモデルとインプラント性能のためのリアルタイムモニタリングスイートで設計されています。特許取得済みの高感度パーティクルセンサーにより、汚染や異常用量を迅速に検出できます。さらに、統合されたエラー検出スキームは、さらなる埋め込みから移植されたウェーハを自動的に拒否して停止し、一貫して高品質の結果を保証します。2000を超えると、追加の監視のための高度なコンピュータアクセサリと統合することもできます。高度なPC制御インターフェースにより、オペレータは簡単かつ迅速に是正措置を講じることができます。また、研究開発に不可欠なレポートや診断ツールも多数用意されています。さらに、NISSIN Exceed 2000では、各アプリケーションの着床効率を最大化するために、さまざまなパラメータを調整することができます。全体的に、Exceed 2000は、正確で効率的で高品質のイオン注入とモニタリングに理想的なシステムです。そのユニークな機能は、プロジェクトを簡素化し、歩留まりを最大化し、製造された部品やデバイスのリスクを低減します。