中古 LINTOTT Series III #9223576 を販売中

ID: 9223576
Ion implanter Includes spare parts and electronics.
LINTOTT Series IIIは、高度なイオンインプランターであり、複数の機能を備えているため、各インプラントを最初から最後まで効率的に監視できます。この装置は非常にタイトなビームスプレッドを生成することができ、オペレータは細かい粒状制御で確実にインプラントのエネルギーを高めることができます。シリーズIIIにまた効率を最大にし、十分定義されたインプラントのプロフィールを保障するのに最大20のビームチャネルを利用する機能があります。このシステムは、最適なパフォーマンスを得るためにトリプルソース構成を使用します。一次イオン源は、調整可能なビームチューンと調整可能なイオン光学設計を備えた高エネルギーのアルゴンイオン注入器です。低エネルギーで高用量のインプラントを必要とするアプリケーションには、二次イオン源も利用できます。最後に、このユニットには、より良いインプラントの均一性とバッテリ寿命延長のための第3単色重水素ソースが含まれています。LINTOTT Series IIIには、イオンインプランタコントローラとビーム電流モニタが内蔵されています。コントローラは、ユーザーに調整可能な線量率を提供し、インプラントの正確なアライメントを可能にし、インプラントがプロセス仕様内にとどまることを確実にするためのアクティブな監視を提供します。オンボードビーム電流モニターを使用すると、インプラント全体のインプラント電流レベルをリアルタイムで監視できます。基本的な構成に加えて、シリーズIIIマシンにはオプションのハイスループットIn-Field Monitor、インプラントプロセス中にインプラントのプロファイルをリアルタイムで監視する高度な光学スキャンツールを装備することができ、ビームの詳細な3Dマッピングを提供します。統合監視アセットは、ビームスプレッド、ピッチ値、範囲、人口サイズなどの追加のパラメトリック情報を提供するように構成できます。最後に、LINTOTT シリーズIIIには、すべての不可欠なコンポーネントと部品をカバーする10年間の保証が付属しています。このモデルは信頼性が高く、長年の途切れることなく強力なパフォーマンスを提供するように設計されています。堅牢なプラットフォームとユーザーフレンドリーな設計により、精度の高い埋め込みと監視が必要な生産環境やプロセスに最適です。
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