中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 420 #293820035 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420は、着床時に放出されるイオンの粒子濃度を一貫して正確に制御するために設計された画期的なイオンインプラントおよびモニター装置です。これは、ほぼリアルタイムのエッジ検出ベースの統合監視および制御プラットフォームの革新的な使用によって達成されます。このプラットフォームの助けを借りて、システムはイオン濃度の変化をすばやく検出し、それに応じて動作パラメータを調整することができます。KLA TP 420は、望ましい埋め込みプロファイルに適合するように調整できる高出力の中型エネルギービームを使用しています。これは、ビーム電流、その大きさ、および標本に到達するまでの時間を制御することによって行われます。さらに、このユニットは自動チューニングと熱補償を採用しており、ビームのより正確な制御を可能にし、所望の埋め込みプロファイルを達成することができます。TENCOR TP 420には、移植プロセスをより簡単に、より費用対効果の高いものにする多くの高度な機能も含まれています。これは、移植ターゲットの高解像度画像を生成するために使用される高解像度のシングルトーンX線源を提供し、誤ったアライメントによる不正確な移植のリスクを低減します。このマシンには、移植プロセスのリモート監視と制御を可能にするコントロールコンソールも含まれているため、ワークステーションを離れることなく移植パラメータを簡単に調整できます。さらに、THERMA-WAVE TP 420は、洗練された安全機能を多数備えています。放射線防護システム、冷却ツール、視覚補償資産を含むこれらの機能は、モデルが安全かつ効率的に動作することを保証します。機器はまた、緊急シャットダウンスイッチを装備することができます、近くで働くすべての従業員の安全を確保するために。全体として、TP 420はイオン注入を正確かつ正確に制御するための革新的で高度なツールです。このシステムは、半導体デバイスの製造や成膜などのアプリケーション、およびその他のイオン/表面ベースのアプリケーションに最適です。さらに、その高度な機能と汎用性により、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420は、多くの異なる産業および研究所にとって不可欠なツールとなります。