中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293666901 を販売中
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400は、半導体ウェーハおよびチップ用の高度なイオンインプランターおよびモニター装置です。半導体業界のデバイスメーカーにイオンビーム注入サービスを提供しており、その主な機能により、プロセス開発および生産業務において迅速かつ経済的になります。KLA TP 400システムは、高エネルギーダイオード源を利用して、単一電荷イオンを生成および制御し、非常に予測可能な線量プロファイルを形成します。また、さまざまなビーム源にも対応しており、エンドポインティングや顕微鏡インプラントなど幅広い用途に対応しています。高度なガス炉はイオン種を収集、貯蔵、分配するため、ユニットは様々なプロセスのためにプログラムすることができます。このマシンには最新のイオン注入技術が搭載されており、最先端のウェーハ監視と制御が保証されています。同時基板モニタリングと均一性のための高速スキャンツールを備えています。また、x、 y、 z軸でウェーハを正確に整列させるためのパーティクルフレームドライブと、複数のウェーハを高速かつ正確に埋め込むための高速搬送アセットを備えています。このモデルはエネルギー効率が高く、究極のウェーハ操作に低コストのソリューションを提供します。効率的な複数の蒸気供給装置と高度なプロセスシミュレーション機能を備えています。ロボットローディングとロボットアンローディングシステムは、高速で正確な保管と処理を提供します。KLA高度なTENCOR TP 400イオンインプランターおよびモニターシステムは、パフォーマンスと信頼性において業界をリードしています。そのユニークな機能により、生産レベルの結果と費用対効果の高いソリューションに最適です。このユニットは、簡単な操作とメンテナンスを提供し、高速スキャンと精密イオン制御でイオン注入プロセスを高速化します。高度な機器は、ユーザーが最大の効率でウェーハやチップを生産できることを保証します。
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