中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE ThermaProbe 420 #293619012 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE ThermaProbe 420は、半導体ウェーハ内のイオンの非常に精密な埋め込みを促進および制御するために設計された最先端のイオンインプラントおよびモニターです。KLA ThermaProbe 420は、50 eVから450 keVまでの幅広いイオンエネルギー範囲と広いプログラム電流範囲を備えているため、インプラントおよびモニタプロセスを最適に制御できます。その高性能・高精度により、二酸化ケイ素、ポリシリコン、化合物半導体材料など、さまざまな材料への埋め込みが可能です。統合されたビーム監視システムは、イオンビームを非常に高速でリアルタイムに形成することができ、埋め込みの深さをより良く制御することができ、精度と再現性に非常に高い精度を提供します。TENCOR THERMA-PROBE 420は、インプラントからインプラントまでの幅広い用量分散範囲を備えており、個々のインプラント用量を最大限に制御できます。その超高感度イオンビーム検出器は、イオンビームの最小の変化を検出し、任意の不一致にユーザーに警告します。また、ユーザーはビーム位置とビーム形状を調整して、すべての基板に均一な埋め込みを確保することができます。さらに、高度なデータ取得、分析、レポート機能により、ユーザーは移植プロセスの進捗状況を追跡するために必要なすべての情報を得ることができます。TENCOR ThermaProbe 420には、高調波周波数や静電気などのさまざまなパラメータを備えた多種多様なビーム源と、さまざまな診断およびデータ収集機器が装備されています。これにより、移植のレベルを制御し、移植プロセスの進行を監視する柔軟性をユーザーに提供します。また、浅いインプラントと深いインプラントの両方に最適な精度と精度を達成するために、ビームパラメータを調整するためのさまざまな機能を提供しています。要約すると、THERMA-WAVE ThermaProbe 420は強力で高精度なイオンインプラントおよびモニターであり、あらゆるインプラント工程において高い柔軟性と精度を提供します。高度なデータ収集、分析およびレポート作成ツール、統合ビーム監視システム、多種多様なビーム源および診断機器は、あらゆる高精度インプラント・プロジェクトに最適です。