中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLATは、半導体デバイスの微細構造変化を引き起こすために使用される高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。これは、材料に制御された量の電荷キャリア（電子またはイオン）を導入することによって達成されます。イオン注入器は、通常、高度な半導体デバイスと集積回路の製造に使用されます。KLA LSS-20SLATはリニアアクセラレータを使用して、充電キャリアを材料に注入します。イオンビームは、次いで、多元磁石システムによって均一なエネルギーのビームに形成され、集中されます。これにより、材料に堆積したエネルギー量を正確に制御できます。このユニットは、20-250 KeVの範囲でエネルギーを持つビームを生成することができます。TENCOR LSS-20SLATには、充電キャリアの埋め込みを検出する高感度モニターが装備されています。これは、正確かつ正確なドーピング制御を確保するのに役立ちます。この機械は、水素、酸素、窒素、およびその他の希少元素を含む65種類のガスを検出することができます。LSS-20SLATはまた、イオンビームの均一性と精度を向上させるために、高度な低圧プラズマ源を備えています。このツールは柔軟性が高く、特定の要件を満たすように構成することができます。シングルウェーハとバッチモードの両方のインプラントに使用できます。THERMA-WAVE LSS-20SLATは、利用可能な最もユーザーフレンドリーで正確で信頼性の高いイオンインプラントとして、半導体業界で広く受け入れられています。これは、大量生産だけでなく、研究開発アプリケーションでも証明されています。この資産は、信頼性、正確性、柔軟性、およびパフォーマンスに関してうらやましい評判を得ています。結論として、KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLATは、研究と生産レベルの両方の操作のための高精度と信頼性を提供する高度なイオンインプラントおよびモニタモデルです。装置の柔軟な構成と最先端の技術により、半導体アプリケーションに最適です。