中古 GLASSMAN NVQ20PN15A #293656435 を販売中

ID: 293656435
Quad power supply for GSD HE.
GLASSMAN NVQ20PN15A Ion Implanter&Monitorは、幅広い材料用の超薄型ナノテクノロジーコーティングの埋め込み用に設計されています。この装置は、強力で高電流の300 keV、 30mA加速度システムとさまざまなモニタおよび制御システムで構成されています。優れた均一性、ピーク電流分布、ピーク電流プロファイル安定性を提供します。移植プロセスは、移植されたガス種、ビームエネルギー、ビーム電流を変化させることによって正確に制御することができます。このユニットはオートキャリブレーションオプションを備えており、アプリケーションの変化する要求に応じてパラメータを調整できます。さらに、プロセス条件を最適化するために不可欠な、インプラント深度および使用済みガス種の高速、高分解能測定が可能です。NVQ20PN15Aは300 keVのイオン注入器、ピーク抽出30mA特色にします。これは、インプラント表面全体で最適なスポットサイズの均一性を得るために、二重焦点磁石を使用しています。ビームラインは、ビームレットをきれいにし、汚染物質の量を最小限に抑えるためにガス種注入器とオプションの質量分離器を内蔵しています。インプランタツール全体は、マイクロプロセッサベースの資産によって制御および監視されます。ビームダイナミクスに関する信頼性の高いリアルタイムデータを提供するためのOpto-X® RF制御モジュール、およびデータ取得と管理が含まれています。このモデルにはリモートモニターが搭載されており、ビーム電流、ガス流量、エネルギー、質量などのすべてのインプラントのパラメータを監視できます。オプションのダイレクトモニター装置は、ビーム電流と実際の移植用量を監視するためにも使用できます。GLASSMAN NVQ20PN15Aは、ナノテクノロジーのコーティング層に不可欠な正確でリアルタイム、線量、ビーム制御を提供します。このシステムは、幅広い材料を使用した様々な技術の超高速インプラント用に設計されています。このユニットは、優れた均一性、ピーク電流分布、および優れたピーク電流プロファイル安定性を提供します。このマシンは、ナノ製造およびコーティング用途に信頼性が高く、費用対効果の高いツールを提供します。
まだレビューはありません