中古 AXCELIS Optima MD #9377001 を販売中

AXCELIS Optima MDイオン注入器は、世界最先端のイオン注入器とモニターです。生産性の向上、歩留まりとコストパフォーマンスの向上を目的としています。この非常に洗練されたツールは、高いスループット機能と強力なプロセス制御を提供します。Optima MDは、高い加速電圧と高いビーム電流を提供し、優れたインプラント結果を提供します。その高度なエンドステーション電源は、用量の均一性が常に最も要求の厳しいアプリケーションのために維持されることを保証します。コンパクトな設計により、限られたスペースでも最大限の稼働時間と柔軟性を実現します。AXCELIS Optima MDはまた、プロセスパラメータを常に監視し、プロセスシフトを検出できる特許取得済みのPro- Monitor™システムを備えたユニークなモニタ機器を提供し、デバイスが繰り返し可能で高品質のインプラントを出力することを確認します。Optima MDは、超高生産性と最高のプロセス再現性を目指して設計されています。AXCELIS Optima MDの独自のプロセス制御ユニットは、プロセスの不安定性を検出するための継続的なプロセス監視を提供します。このマシンは、優れたスパッタ歩留まりと改善された粒子制御を提供し、デバイスが最も正確な埋め込みプロセスを生成することができます。Optima MDには、Opticore™電流モニタやModemission™ビーム形状モニタなど、イオンビーム診断ツールの最新技術が搭載されています。これらの高度なツールにより、納期が短縮され、プロセス制御が向上します。最後に、AXCELIS Optima MDは真のプラグアンドプレイ機能を提供し、迅速なセットアップと実装を可能にします。ユーザーフレンドリーなオペレーティングツールと包括的な診断およびプロセスソフトウェアを組み合わせて、特定の環境へのスムーズな統合を保証します。ユーザーインターフェイスにより、移植パラメータのナビゲーションと理解が容易になります。要するに、Optima MDは、優れたプロセス制御機能、高スループット、優れたインプラント均一性を備えた高度なイオンインプラントです。その様々な診断ツールは、迅速な応答と改善された製品歩留まりのための任意のプロセス不安定性を検出するように設計されています。さらに、ユーザーはAXCELIS Optima MDのプラグアンドプレイ機能とユーザーフレンドリーなインターフェースを楽しむことができます。