中古 AXCELIS Optima MD #293723865 を販売中

AXCELIS Optima MDは、AXCELIS Technologies社製の高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、半導体プラントで小型半導体デバイスのエッチングとドーピングに使用されています。これは、高い歩留まり、スループットの高い所有コストのために設計されています。Optima MDには、16 GBのメモリを搭載したインテルCore i7プロセッサーを搭載したMSXコントローラが搭載されています。主なコンポーネントには、スループットを最適化した自動ウェーハハンドリングユニット、電動ウェーハトランスファーアーム、ビームアプローチアセンブリ、自動ビームステアリング機能があります。それは非常に効率的であり、90 WPHまでの速度を達成できます。AXCELIS Optima MDには、最大6 x 10^15 イオン/cm 2の目標ピーク投与量を提供できる強力なイオンインプランターも装備されています。非常に効率的な電子フィーダ機は、非常に再現性の高いプロセスを与える高精度の投与量を維持するのに役立ちます。また、個別/デュアルイオン源システムを必要とせずに、異なるイオンエネルギーを供給することができます。Optima MDには強力なリアルタイム監視ツールもあります。これは、任意の異常や予期しないイベントを検出し、重要なデータと警告をユーザーに提供することができます。プロセスデータは、FTPファイルに保存して将来の検査と分析を行うことができます。さらに、AXCELIS Optima MDは独自の3次元ビームプロファイル機能を備えています。これにより、実際のビームプロファイルを表示し、理想的なプロセス結果を得るためにビームアライメントを調整することができます。統合プロセス分析ソフトウェアは、プロセスを迅速に特定し、製品のバリエーションを削減するのに役立ちます。Optima MDは堅牢で信頼性の高い資産であり、ダウンタイムを最小限に抑えます。信頼性の高い真空モデルを使用して、迅速な注入サイクルを実現し、製品のダウンタイムを削減します。この装置はまた、低消費電力のDC電源イオン源を使用して、高用量率を提供します。AXCELIS Optima MDは、高い歩留まり、費用対効果の高い製造に最適なインプラントおよびモニタシステムです。その効率的で使いやすいインターフェイスと強力で信頼性の高いコンポーネントは、半導体プラントにとって価値のある選択肢となります。