中古 AXCELIS Optima MD #293628043 を販売中

AXCELIS Optima MDは、デジタルとアナログの両方の機能を備えたイオンインプランターおよびモニターです。この機械は、さまざまな業界の半導体ウェーハの加工に役立つように設計されています。その柔軟性と精度により、今日のウェーハ製造プロセスに特に適しています。Optima MDは、イオン注入、ガラス沈着、エピタキシャル成長などの幅広いプロセスを提供します。軽いイオンと重いイオンの両方を埋め込むことができ、200 keVまでの様々なエネルギー範囲と2x1016 イオン/cm2までの用量に使用することができます。また、さまざまなウェーハ要件に合わせてさまざまなソースオプションを提供しています。さらに、インプラント精度を確保するためのオンボードエンドポイント検出システムと自動ウェーハアライメントを備えています。インプランターのデジタル機能は、簡単で包括的なレシピ制御を提供します。GUIベースのモニタとコントロールパッケージを使用すると、さまざまなレシピにアクセスし、個々のプロセスに合わせてパラメータをカスタマイズできます。このマシンには、高度な診断機能と、リアルタイムデータ表示機能を備えたアラームおよびステータスパネルも含まれています。AXCELIS Optima MDには、頑丈なステンレス製ハウジングと制御プラットフォームが付属しています。また、イオンビームスキャンシステムやプロセス制御モジュールなど、さまざまな追加アクセサリやコンポーネントも提供しています。このシステムは、経験の少ないスタッフでも簡単かつ直感的に操作できるように設計されています。Optima MDは、イオン注入処理のための包括的で信頼性の高いソリューションを提供することができます。柔軟な設計、堅牢なデジタルプラットフォーム、幅広い機能により、最も効率的で正確なマシンの1つです。さらに、使いやすくセットアップも簡単で、あらゆるウェーハ加工プロセスに最適です。